氧化鈦柵介質(zhì)離子敏場效應(yīng)管ｐＨ傳感器的研制
發(fā)布日期：2024-02-29 瀏覽次數(shù)：
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核心提示：摘 要:為了滿足微量溶液的檢測需求以及解決部分pH傳感器靈產(chǎn)品敏度低、尺寸較大以及抗干擾性差的問題,研制了一種氧化鈦(TiO?)柵介質(zhì)離子敏場效應(yīng)管pH傳感器。該傳感器的溝道層為銦鎵鋅氧化物(InGaZnO)薄膜,頂柵介質(zhì)為氧化鈦(TiO?)薄膜,源極和漏極均為金屬鋁(Al)薄膜;InGaZnO 薄膜和 TiO?薄膜均由射頻磁控濺射工藝制成,Al
摘 要:為了滿足微量溶液的檢測需求以及解決部分pH傳感器靈產(chǎn)品敏度低、尺寸較大以及抗干擾性差的問題,研制了一種氧化鈦(TiO?)柵介質(zhì)離子敏場效應(yīng)管pH傳感器。該傳感器的溝道層為銦鎵鋅氧化物(InGaZnO)薄膜,頂柵介質(zhì)為氧化鈦(TiO?)薄膜,源極和漏極均為金屬鋁(Al)薄膜;InGaZnO 薄膜和 TiO?薄膜均由射頻磁控濺射工藝制成,Al薄膜由電子束蒸發(fā)沉積工藝制成,3種薄膜材料均通過光刻、刻蝕工藝圖形化。傳感器具有體積小、靈敏度高、抗干擾性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),尺寸僅為 10 mm x15 mm,在室溫(25±1)℃條件下,用半導(dǎo)體參數(shù)測試儀測得器件在不同 pH 值(4 ~10)溶液中的平均靈敏度為63.25 mV/pH,在K＋、Cl¯、Na＋、SO４２－離子干擾下的電壓漂移量為相同濃度H＋離子干擾下的 3%,滿足當(dāng)前生物醫(yī)學(xué)、食品加工等領(lǐng)域的pH值檢測需求。
原文： 
GSLW-23-25 氧化鈦柵介質(zhì)離子敏場效應(yīng)管pH傳感器的研制-黃旭東-實(shí)驗(yàn)室研究與探索.pdf
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